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Title: Grundlagen zum Hochrate-Plasmaätzen zur Veredelung von optischen Oberflächen : Teilvorhaben: Grundlagen und Technologien zum lokalen Hochrate-Plasmaätzen ; Abschlußbericht
Authors: Schindler, Axel
Issue Date: 2000
Publisher: Leipzig : Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung
Abstract: [no abstract available]
DDC: 620
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