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Title: An investigation of target poisoning during reactive magnetron sputtering
Authors: Güttler, Dominik
Issue Date: 2009
Published in: Wissenschaftlich-technische Berichte / FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf, Volume 515, ISSN 1437-322X
Publisher: Dresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
Abstract: [no abstract available]
DDC: 620
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