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Title: Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung
Authors: Güttler, Dominik
Issue Date: 2004
Published in: Wissenschaftlich-technische Berichte / FZR, Forschungszentrum Rossendorf, Volume 411, ISSN 1437-322X
Publisher: Dresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
Abstract: [no abstract available]
DDC: 620
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