Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung

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dc.contributor.author	Güttler, Dominik
dc.date.accessioned	2016-03-24T17:37:19Z
dc.date.available	2019-06-28T07:30:23Z
dc.date.issued	2004
dc.identifier.uri	https://doi.org/10.34657/4848	-
dc.identifier.uri	https://oar.tib.eu/jspui/handle/123456789/1313
dc.description.abstract	[no abstract available]
dc.language	eng
dc.publisher	Dresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
dc.relation.ispartofseries	Wissenschaftlich-technische Berichte / FZR, Forschungszentrum Rossendorf, Volume 411, ISSN 1437-322X	-
dc.subject.ddc	620
dc.title	Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung
dc.type	doctoralThesis	-
dc.type	Text	-
dc.description.version	publishedVersion	eng
local.accessRights	openAccess	-
wgl.contributor	FZD	ger
wgl.subject	Ingenieurwissenschaften	ger
wgl.type	Hochschulschrift	ger
dcterms.bibliographicCitation.journalTitle	Wissenschaftlich-technische Berichte / FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf	-
local.identifier.doi	https://doi.org/10.34657/4848	-
Appears in Collections:	Ingenieurwissenschaften

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