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dc.contributor.authorGüttler, Dominik
dc.date.accessioned2016-03-24T17:37:19Z
dc.date.available2019-06-28T07:30:23Z
dc.date.issued2004
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.34657/4848-
dc.identifier.urihttps://oar.tib.eu/jspui/handle/123456789/1313
dc.description.abstract[no abstract available]
dc.languageeng
dc.publisherDresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
dc.relation.ispartofseriesWissenschaftlich-technische Berichte / FZR, Forschungszentrum Rossendorf, Volume 411, ISSN 1437-322X-
dc.subject.ddc620
dc.titleEchtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung
dc.typedoctoralThesis-
dc.typeText-
dc.description.versionpublishedVersioneng
local.accessRightsopenAccess-
wgl.contributorFZDger
wgl.subjectIngenieurwissenschaftenger
wgl.typeHochschulschriftger
dcterms.bibliographicCitation.journalTitleWissenschaftlich-technische Berichte / FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf-
local.identifier.doihttps://doi.org/10.34657/4848-
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